1 范圍

      本標準給出了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境控制靜電的術(shù)語和定義、靜電控制、培訓(xùn)與規(guī)范等要求。

      本標準適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的靜電控制。

2 規(guī)范性引用文件

      下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。

      GB 4824—2013 工業(yè)、科學(xué)和醫(yī)療(ISM)射頻設(shè)備 騷擾特性 限值和測量方法

      GB/T 18202 室內(nèi)空氣中臭氧衛(wèi)生標準

      GB 50073—2013 潔凈廠房設(shè)計規(guī)范

      IEC 61340-5-1 電子設(shè)備的靜電防護 通用要求(Protection of electronic devices from electrostatic phenomena-General requirements)

      IEC/TR 61340-5-2 電子設(shè)備的靜電防護 用戶指南(Protection of electronic devices from electrostatic phenomena—User guide)

      IEC 61340-5-3 電子設(shè)備的靜電防護 靜電敏感設(shè)備包裝特性和要求分級(Protection of electronic devices from electrostatic phenomena-Properties and requirements classification for packaging intended for electrostatic discharge sensitive devices)

3 術(shù)語和定義

      下列術(shù)語和定義適用于本文件。

3.1

      靜電耗散材料 static-dissipative materials

      表面電阻率在10⁵Ω?10¹²Ω之間，或體積電阻率在10⁴ Ω?cm?10¹¹ Ω?cm之間的材料。

3.2

      靜電場 electrostatic field

      靜電荷在其周闈所激發(fā)的電場，基本特征是在壓差作用下，對位于該場中的其他電荷施以作用力。

      注：改寫 GB/T 15463—2008,定義 3.3。

3.3

      靜電勢 electrostatic potential

      一點與另一個規(guī)定參照點之間的電位差。

3.4

      靜電控制 electrostatic charge control ； ESCC

      對于定產(chǎn)品或工藝，將靜電效應(yīng)控制在允許限度之下的，由設(shè)施、材料、附件、操作規(guī)程構(gòu)成的系統(tǒng)。

3.5

      靜電放電 electrostatic discharge ； ESD

      靜電勢不同的物體,因接近或接觸導(dǎo)致靜電荷的轉(zhuǎn)移。

3.6

      靜電放電控制 electrostatic discharge control； ESDC

      限制或消除靜電荷的傳遞。

3.7

      衰減時間 decay time

      靜電勢衰減至初始值的某一規(guī)定比值（一般規(guī)定為初始值的10%）所消耗的時間。

4 靜電控制

4.1 靜電來源、危害及監(jiān)測

4.1.1 來源

      常見的靜電來源有:工藝設(shè)備、某些塑料、人的活動。絕緣體（通常為合成材料）上的電荷不易轉(zhuǎn)移, 若不與其他導(dǎo)體接觸，絕緣體上的靜電電壓可能非常高。

      表1列出受控環(huán)境中容易出現(xiàn)靜電的地方。

      表2列出因人的活動產(chǎn)生的靜電電壓。

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