1 范圍

      GB/T 25915的本部分闡明了在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中，按粒子濃度來劃分固體表面潔凈度等級。附錄A?附錄D中給出了關(guān)于表面特性的信息以及推薦的檢測和測量方法。

      本部分適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中的所有固體表面，如墻壁、頂棚、地板、生產(chǎn)環(huán)境、工具、設(shè)備和產(chǎn)品，按粒子濃度劃分的表面潔凈度等級（SCP）限于粒徑0.05 μm?500 μm的粒子。

      本部分對以下事項未予考慮；

      ——特定工藝的潔凈度及適合性要求；

      ——表面的清潔步驟；

      ——材料特性；

      ——涉及相互結(jié)合力或通常與時間和工藝過程有關(guān)的事項；

      ——分級和測試統(tǒng)計方法的選擇和使用；

      ——粒子的其他特性，如靜電電荷、離子電荷、微生物等狀況。

2 規(guī)范性引用文件

      下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。

      GB/T 25915.6—2010 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第6部分：詞匯（ISO 11644-6 ：2007,1DT）

3 術(shù)語和定義

      GB/T 25915.6—2010界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件。

3.1

      特定粒徑范圍描述符 descriptor for specific particle size ranges

      區(qū)分特定粒徑范圍SCP水平的描述符。

      注；此描述符可用于特別關(guān)注的或在分級體系之外的粒徑范圍，并可唯獨說明或作為SCP等級的補充。

3.2

      直接測量法 direct measurement method

      沒有任何中間步驟的測量污染方法。

3.3

      間接測量方法 indirect measurement method

      帶有中間步驟的測量污染方法。

3.4

      固體表面 solid surface

      固體與另一相之間的界面。

3.5

      表面粒子 surfuce particle

      離散分布并粘附在所關(guān)注表面上的固體或液體物質(zhì)，不包括覆蓋整個表面的薄膜類物質(zhì)。

      注：表面粒子是通過化學和(或）物理相互作用而粘附的粒子。

3.6

      表面潔凈度 surface cleanliness by particle concentration ； SCP

      表面粒子濃度方面的狀況。

      注：表面潔凈度是由材料與型式特點、各種應(yīng)力負荷(作用于表面上負荷的復(fù)雜性)以及起主導作用的環(huán)境條件和其他因素所決定的。

3.7

      表面潔凈度等級 surface cleanliness by particle concentration class

      SCP 等級 SCP class

      每平方米表面關(guān)注粒徑粒子濃度最大允許值的級別(SCP1級至8級)。

3.8

      表面潔凈度分級 surface cleanliness by particle concentration classification

      SCP 分級 SCP classification

      以ISO SCP N級表示的代表每平方米中關(guān)注粒徑的表面粒子最大允許濃度(或測定水平的過程)。

3.9

      表面粒子濃度 surface particle concentration

      關(guān)注的表面區(qū)域單位面積離散粒子的數(shù)目。

4 縮略語

      下列縮略語適用于本文件。

      AFM：原子力顯微法(atomic force microscopy)

      CNC：凝聚核計數(shù)器(condensation nucleus counter)

      EDX：能量色散 X 射線光譜法(energy dispersive X-ray spectroscopy)

      ESCA：化學分析電子能譜法(electron spectroscopy for chemical analysis)

      IR：紅外(吸收式光譜法)[infraredCabsorption spectroscopy)]

      OPC：光學粒子計數(shù)器(optical particle counter)

      PET ：聚乙烯苯二中酸乙二醇酯(polyethylene terephthalate)

      SCP：按粒子濃度劃分表面潔凈度(surface cleanliness by particle concentration)

      SEM ：掃描電子顯微鏡法(scanning electron microscopy)

      UV：紫外線(光譜儀)[ultraviolet (spectroscopy)]

      WDX；波長色散 X-射線光譜(wavelength-dispersive X-ray spectroscopy.)

5 分級體系

5.1 ISO-SCP分級公式

      在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中，按粒子濃度劃分的表面潔凈度級別(SCP)以等級數(shù)字N表示，它規(guī)定了表面上所關(guān)注粒徑粒子的最大允許濃度。N由式(1)確定，它表示某一關(guān)注粒徑(D)粒子每平方米表面所允許的最大總濃度 ：C_scp；D。

      式中：

      C_SCP;D——每平方米表面上大于或等于所關(guān)注粒徑粒子的最大允許總濃度，保留不多于3位非零有效數(shù)字，修約到最近的整數(shù)；

      N——SCP分級數(shù)字，限于SCP 1級?SCP 8級;SCP分級數(shù)字N所對應(yīng)的是以微米為單位的被測粒徑；

      注：N表示的是基準粒徑為1 μm的粒子濃度以10為底的指數(shù)；

      D——關(guān)注粒徑，單位為微米（μm）；

      k——常數(shù)1,單位為微米（μm）。

      注1：由于粒子生成和傳輸?shù)膭討B(tài)特性，依據(jù)粒子濃度的SCP等級是可依時間和工藝而定的值。

      注2：由于統(tǒng)計評估的復(fù)雜性及眾多參考資料.GB/T 25915本部分中未說明對分級和測試統(tǒng)計方法的選擇與應(yīng)用。

      依式（1）導出的濃度CsCPE應(yīng)作為確定值使用。表1顯示的是所選定的SCP等級和關(guān)注粒徑對應(yīng)的表面最大允許累積濃度。

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